ÀÌÀåÄ¡´Â ÇÁ¶óÁ ¹ÙÀ̾ CVD¹ý¿¡ ÀÇÇÑ ¼º¸· ±â¼ú °³¹ß¿¡ ³Î¸® »ç¿ëÇϵµ·Ï °³¹ßµÈ ½ÃÇè¿ë ÀåºñÀÔ´Ï´Ù. ÆòÇàÆòÆÇÇüÀÇ Àü±Ø°£¿¡ °íÁÖÆĸ¦ Àΰ¡ÇÏ¿©ÇÁ¶óÁ¸¦ ¹ß»ýÇÕ´Ï´Ù. Àü±ØÀÇ À§Ä¡¸¦ ±³Ã¼ÇÏ¿© Etching°ú CVD¸¦ µ¿½Ã¿¡ »ç¿ëÇÒ ¼ö ÀÖÀ¸¸ç ±âÆÇȦ´Ù¿¡´Â Heater¹× ³Ã°¢¼ö°¡ ¼³Ä¡µÇ¾î ÀÖ½À´Ï´Ù.
¿ëµµ : ÇÁ¶óÁ CVD °¢Á¾¼º¸· ½ÇÇè¿ë
¼º¸·¹æ¹ý : ÆòÇàÆòÆÇÇü
±âÆÇȦ´Ù : ±âÆÇ°¡¿ (MAX 500¡É ) ³ôÀÌÁ¶Àý,ȸÀü
Àü±Ø : °¡½º ³ëÁñ
¹è±â°è : °íÁø°ø°è - RP,Turbo / ÀúÁø°ø°è - MBP,RP
RFÀü¿ø : 13.56 MHz
°¡½º : 5°³ MFC
¾Ð·ÂÁ¶Àý : APC
º» ÀåÄ¡´Â °ú°ÅÀÇ °í¿Â CVDÀÇ °¡Àå Å« ¹®Á¦Á¡ÁßÀÇ ÇϳªÀÎ ¼ÒÀçÀÇ ¿Âµµ°¡ ¼ö¹é ³»Áö 1000¡ÉÀÌ»ó °¡¿µÇ¾î ¼ÒÀçÀÇ ¿Ãæ°Ý, ¿ÀÀ·Â, º¯ÇüµîÀÇ ¹®Á¦¸¦ ÇØ°áÇÑ ÇöóÁ ÀÀ¿ëÀåÄ¡·Î ƯÈ÷ ¼¶À¯ ÀÀ¿ë°¡°ø¿¡ ÃÖÀûÇÕÇÕ´Ï´Ù.
¿ø¸® : ¹ÝÀÀ°¡½º°¡ Àú¾ÐÇöóÁ ¹æÀüÁß¿¡ µµÀԵǾî Àú¿Â CVD 󸮷ΠDissociation, Ionization°ú ±âü»ó ¹ÝÀÀ°úÁ¤µîÀ¸·Î ÁõÂøµÈ´Ù. ¶ÇÇÑ À¯±â°¡½º¹°ÁúÀÌ À¯±âÁßÇÕü·Î Çü¼ºµÇ¸ç ÀÌ °úÁ¤Àº ºÐÀÚÁú·®ÀÌ Å« ¹°ÁúÀÌ ±âÆÇ»ó¿¡ ÀÀÃàµÇ¸é Plasma ¼ººÐÀÌ ´Ù¸¥ ¹°Áú¿¡ ÀÇÇØ Ãæ°ÝµÇ°í ¼·Î °áÇÕÇÏ¿© RadicalÀ» Çü¼ºÇÔÀ¸·Î½á ÀÌ·ç¾îÁý´Ï´Ù.